主要特征:
核心零部件全部原裝進口
三軸均采用高精密天然花崗巖
三軸導(dǎo)軌均采用高精度自潔式空氣軸承，運動更平穩(wěn)，導(dǎo)軌永不受磨損
三軸均采用高精度進口光柵尺
X向采用精密60°三角梁專利技術(shù)，相比矩形梁，重心更低，質(zhì)量剛性比最佳，運動更加可靠
Y 向采用整體燕尾式導(dǎo)軌，在降低機器重量的同時，有效消除了運動扭擺，保證了測量精度和穩(wěn)定性
業(yè)界標桿的專用PCDMIS BASIC（PREMIUM）手動測量軟件，操作簡單，運行可靠
符合人機工程學(xué)的設(shè)計
規(guī)格型號與技術(shù)指標:

機器型號		Tango564	Tango686	Tango8106	Tango8126
行程(mm)	X	500	600	800	800
	Y	600	800	1000	1200
	Z	400	600	600	600
測量空間(mm)	Dx	614	714	914	914
	Dy	1155	1355	1555	1755
	Dz	535	735	735	735
	Dx1	135	135	135	135
	Dy1	105	105	105	105
花崗巖平臺螺紡尺寸(mm)	M1	172	195	270	270
	M2	327	377	427	377
	Mx	200	125	150	150
	My	150	150	150	150
外形尺寸(mm)	L	1155	1355	1555	1755
	W	940	1040	1240	1240
	H	2209	2609	2609	2609
承重(Kg)		300	300	500	500
機器重量(Kg)		725	1030	1200	1400
MPEe(μm)		3.5+L/300	3.5+L/300	4.5+L/300	5.0+L/300
光柵尺分辨(μm)		0.4
空氣流量		120NL/min
供氣壓力		0.45MPa
溫度		20±2℃
濕度		45%-75%